表面粗糙度儀標(biāo)準(zhǔn)的提出和發(fā)展與工業(yè)生產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展密切相關(guān)，它經(jīng)歷了由定性評定到定量評定兩個階段。發(fā)展表面粗糙度儀對機(jī)器零件表面性能的影響從1918年開始受到注意，在飛機(jī)和飛機(jī)發(fā)動機(jī)設(shè)計(jì)中，由于要發(fā)展求用最少材料達(dá)到最大的強(qiáng)度，人們開始對加工表面的刀痕和刮痕對疲勞強(qiáng)度的影響加以研究。但由于測發(fā)展量困難，當(dāng)時沒有定量數(shù)值上的評定要求，只是根據(jù)目測感覺來確定。在20世紀(jì)20～30年代，世界上很多發(fā)展工業(yè)國家廣泛采用三角符號的組合來表示不同精度的加工表面。

　　為研究表面粗糙度儀對零件性能的影響和度量表面微觀不平度的需要，從20年代末到30年代，德國、美國發(fā)展和英國等國的一些專家設(shè)計(jì)制作了輪廓記錄儀、輪廓儀，同時也產(chǎn)生出了光切式顯微鏡和干涉顯微鏡等用發(fā)展光學(xué)方法來測量表面微觀不平度的儀器，給從數(shù)值上定量評定表面粗糙度儀創(chuàng)造了條件。從30年代起，已對表發(fā)展面粗糙度定量評定參數(shù)進(jìn)行了研究，如美國的Abbott就提出了用距表面輪廓峰頂?shù)纳疃群椭С虚L度率曲線來發(fā)展表征表面粗糙度儀。1936年出版了Schmaltz論述表面粗糙度儀的專著，對表面粗糙度儀的評定參數(shù)和數(shù)值的標(biāo)準(zhǔn)化發(fā)展提出了建議。但粗糙度評定參數(shù)及其數(shù)值的使用，真正成為一個被廣泛接受的標(biāo)準(zhǔn)還是從40年代各國相應(yīng)的發(fā)展國家標(biāo)準(zhǔn)發(fā)布以后開始的。

　　首先是美國在1940年發(fā)布了ASA發(fā)展B46.1國家標(biāo)準(zhǔn)，之后又經(jīng)過幾次修訂，成為現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)ANSI/ASME發(fā)展B46.發(fā)展1-1988《表面結(jié)構(gòu)表面粗糙度儀、表面波紋度和加工紋理》，該標(biāo)準(zhǔn)采用中線制，并將Ra作為主參數(shù)；接著前蘇發(fā)展聯(lián)在1945年發(fā)布了GOCT2789-1945《表面光潔度、表面微觀幾何形狀、分級和表示法》國家標(biāo)準(zhǔn)，而后經(jīng)過了3發(fā)展次修訂成為GOCT2789-1973《表面粗糙度儀參數(shù)和特征》，該標(biāo)準(zhǔn)也采用中線制，并規(guī)定了包括輪廓均方根偏差發(fā)展即現(xiàn)在的Rq)在內(nèi)的6個評定參數(shù)及其相應(yīng)的參數(shù)值。另外，其它工業(yè)發(fā)達(dá)國家的標(biāo)準(zhǔn)大多是在50年代制定的，發(fā)展如聯(lián)邦德國在1952年2月發(fā)布了DIN4760和DIN4762有關(guān)表面粗糙度儀的評定參數(shù)和術(shù)語等方面的標(biāo)準(zhǔn)等。